STACIS4主动隔振系统

起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。

STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的先进的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。

STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先进的控制算法和新的专有技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。

由于刚性百倍优于其它的气垫式减振器，STACIS 没有一般气垫式减振器所面临的稳定性与过大位移的缺陷。与气垫式减振器不同的是，STACIS能很好地与设备内部已有的气垫减振系统兼容，使得两个系统各自发挥最大功效，优化减振效果。

STACIS系统使用独特的串联式设计与高压压电技术，能在0.35赫兹到150赫兹的宽频内有效提供主动消振，并且在2赫兹以上消减95%的振动。

比STACIS III更好的振动控制与行业标准解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了40 dB以上。

STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少4个VC等级的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。

稳定的串联设计允许使得您安装后即可忘记它，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。