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STACIS III主动隔振系统
STACIS ® III 是一种灵活的先进主动隔振系统。STACIS 采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和最先进的压电致动器，通过连续测量地板活动来实时消除振动，然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动。
STACIS 最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施, 和材料研究。
STACIS III主动隔振系统优势
STACIS比空气隔振器硬数百倍，不受空气隔振系统的限制。没有“软”悬架，并且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在具有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。
独特的串行设计和专有的高压压电技术产生了从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽主动带宽和无与伦比的真正主动隔振，从 2 Hz 开始减振 90%。
STACIS III主动隔振系统性能规格
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz – 150 Hz |
| 被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时的隔振 | 40% – 70% |
| ≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1） | 0.3秒 |
| 内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力：400 – 1100磅（182 – 500千克） 中等承重能力：900 – 2100磅（410 – 955千克） 高承重能力：1900 – 4500磅（864 – 2045千克） |
| 刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 从距离隔振器最大4英寸（102毫米）处发射的磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |